LÅYER-one
Kompaktes ALD-System
- Precursoren
- TDMATi, TMA, H₂O
- Vakuum
- Edwards iXH, 100 m³/h
- Aufstellfläche
- 2.000 × 2.575 mm
ANLAGENPROGRAMM · ALD
LÅYER-one: Atomlagenabscheidung.
Atomgenau, geometrieunabhängig, perfekte Barriere — und unendliche Farben.
NOVA VacoraALD LÅYER-one anfragen
Kompaktes ALD-System für TiO₂- und Al₂O₃-Schichten: selbstlimitierende Abscheidung Lage für Lage, perfekte Konformität auch bei hohem Aspektverhältnis, Schichtdicke im Nanometerbereich steuerbar. Auf 2 × 2,6 m Aufstellfläche produktionsbereit.
- nm
- genaue Schichtdicke
- 2
- Schichtsysteme: TiO₂ und Al₂O₃
- ∞
- Unendliche Farben
Für wen und warum
Für wen.
Mikroelektronik und Halbleiter, Optik und Photonik, Energiespeicher und Batterien, Medizinprodukte sowie dekorative Anwendungen mit reproduzierbaren Farben.
Warum ALD LÅYER-one.
- Selbstlimitierende Schicht-für-Schicht-Abscheidung
- Perfekte Konformität auf komplexen Geometrien
- Dichte Schichten mit sehr geringer Porosität, chemisch und thermisch stabil
- Barriere- und dielektrische Eigenschaften
- Farbgleichmäßigkeit und Materialeffizienz
Für wen.
Mikroelektronik und Halbleiter, Optik und Photonik, Energiespeicher und Batterien, Medizinprodukte sowie dekorative Anwendungen mit reproduzierbaren Farben.
Warum ALD LÅYER-one.
- Selbstlimitierende Schicht-für-Schicht-Abscheidung
- Perfekte Konformität auf komplexen Geometrien
- Dichte Schichten mit sehr geringer Porosität, chemisch und thermisch stabil
- Barriere- und dielektrische Eigenschaften
- Farbgleichmäßigkeit und Materialeffizienz
Das System.
Ein Schrank, eine Pumpe, drei Precursoren.
LÅYER-oneKompaktes ALD-System
- Precursoren
- TDMATi, TMA, H₂O
- Vakuum
- Edwards iXH, 100 m³/h
- Aufstellfläche
- 2.000 × 2.575 mm
Technische Daten
- Schichten
- TiO₂, Al₂O₃
- Precursoren
- TDMATi 300 ml · TMA 300 ml · H₂O 500 ml
- Primärpumpe
- Edwards iXH, 100 m³/h
- Ventile
- Gate-Ventil DN40, zwei Eckventile DN25, pneumatisch
- Druckmessung
- Baratron DN16 (Prozess), Pirani DN16
- Schrank B × H
- 800 × 1.810 mm, Bedienfeld auf 1.474 mm
- Breite mit Pumpe
- 1.590 mm
- Aufstellfläche
- 2.000 × 2.575 mm
- Anschlüsse
- Druckluft 5–6 bar, N₂ 2 bar, Vakuum, Kühlwasser, Netzwerk, Strom
| Merkmal | LÅYER-one |
|---|---|
| Schichten | TiO₂, Al₂O₃ |
| Precursoren | TDMATi 300 ml · TMA 300 ml · H₂O 500 ml |
| Primärpumpe | Edwards iXH, 100 m³/h |
| Ventile | Gate-Ventil DN40, zwei Eckventile DN25, pneumatisch |
| Druckmessung | Baratron DN16 (Prozess), Pirani DN16 |
| Schrank B × H | 800 × 1.810 mm, Bedienfeld auf 1.474 mm |
| Breite mit Pumpe | 1.590 mm |
| Aufstellfläche | 2.000 × 2.575 mm |
| Anschlüsse | Druckluft 5–6 bar, N₂ 2 bar, Vakuum, Kühlwasser, Netzwerk, Strom |
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